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碳化硅快速退火炉,一种新型碳化硅快速退火炉高温腔体的制作方法

作者:admin 浏览量:313 来源:本站 时间:2022-09-17 12:32:01

信息摘要:

碳化硅快速退火炉,一种新型碳化硅快速退火炉高温腔体的制作方法!碳化硅快速退火炉技术文章分享,碳化硅快速退火炉,一种新型碳化硅快速退火炉高温腔体的制作方法!

碳化硅快速退火炉,一种新型碳化硅快速退火炉高温腔体的制作方法!


一种新型碳化硅退火炉高温腔体的制作方法


1.本实用新型属于半导体制造相关用具技术领域,特别是涉及一种新型碳化硅快速退火炉高温腔体。


背景技术:

2.退火炉高温腔体是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能,热处理是针对不同的效果而设计的,但它在实际使用中仍存在以下弊端:
3.1、现有的退火炉高温腔体无法在其上部快速安装它自身燃烧所需的燃料的装载体,从而导致只能将其燃料装载体放置在退火炉高温腔体外部,十分占用空间;
4.2、现有的退火炉高温腔体与鼓风机通常为一体化设计,无法快速的对鼓风机进行结构上的拆装,不利于后期鼓风机损坏进行更换维修。
5.因此,现有的一种新型碳化硅退火炉高温腔体,无法满足实际使用中的需求,所以市面上迫切需要能改进的技术,以解决上述问题。


技术实现要素:

6.本实用新型的目的在于提供一种新型碳化硅退火炉高温腔体,通过设置安装机构和连接机构,解决了现有的退火炉高温腔体无法在其上部快速安装它自身燃烧所需的燃料的装载体,从而导致只能将其燃料装载体放置在退火炉高温腔体外部,十分占用空间;现有的退火炉高温腔体与鼓风机通常为一体化设计,无法快速的对鼓风机进行结构上的拆装,不利于后期鼓风机损坏进行更换维修的问题。
7.为解决上述技术问题,本实用新型是通过以下技术方案实现的:
8.本实用新型为一种新型碳化硅退火炉高温腔体,包括腔体本体、安装机构和连接机构,所述腔体本体商标卖女中部固定连接有安装机构,且安装机构包括安装块和连接钢槽,所述安装块之间的两侧上部固定连接有连接钢槽;
9.所述腔体本体一端上中部紧固连接有连接机构,且连接机构包括连接筒和法兰盘,所述法兰盘固定连接在连接筒的内端。
10.进一步地,所述腔体本体底面外部设置有底座,且底座前端上部固定连接有弧形梯,所述弧形梯另一端固定连接在连接钢槽前端表面中部,由设置的底座,用于连接弧形梯和对腔体本体进行支撑,由设置的连接钢槽,便于对燃料装载体进行固定。
11.进一步地,所述腔体本体底面两端中部固定连接有支座,且腔体本体一端表面固定连接有固定圈,所述固定圈表面固定连接有轴套,由设置的支座,用于对腔体本体进行支撑,由设置的固定圈,用于固定轴套,并由设置的轴套,用于使转轴进行转动。
12.进一步地,所述轴套内转动连接有转轴,且转轴外端固定连接有第一圆门,所述第一圆门外表面一侧中部固定连接有第一把手,由设置的转轴,用于使第一圆门可进行转动,由设置的第一把手,便于对第一圆门施加力的作用,从而使其进行转动。
13.进一步地,所述连接筒外端表面中部固定连接有鼓风机,且鼓风机的输入端固定连接有吸风口,由设置的鼓风机,用于对腔体本体中引入空气,从而使腔体本体内的燃烧更加的充分,由吸风口的设置,用于将空气吸入到鼓风机中鼓出。
14.进一步地,所述腔体本体另一端下中部转动连接有弧门,且弧门外表面内端中部固定连接有第二把手,所述腔体本体底面一侧转动连接有第二圆门,且第二圆门底面一侧中部固定连接有第三把手,由设置的弧门,便于在需要的时候对腔体本体内进行观察,由设置的第二把手,便于将弧门打开和关闭,由设置的第三把手,便于将第二圆门打开和关闭。
15.本实用新型具有以下有益效果:
16.1、本实用新型通过设置安装机构,具有节约工作场地空间的优点,解决了现有的退火炉高温腔体无法在其上部快速安装它自身燃烧所需的燃料的装载体,从而导致只能将其燃料装载体放置在退火炉高温腔体外部,十分占用空间的问题,当在对退火炉高温腔体的燃料载体进行安装时,将装载体放置在安装机构上,通过其箱配套的紧固件,将其紧固连接在安装机构上的安装块和连接钢槽上即可,使用相反的方式,即可将其从安装机构上拆卸下来。
17.2、本实用新型通过设置连接机构,具有对鼓风机进行维修更换优点,解决了现有的退火炉高温腔体与鼓风机通常为一体化设计,无法快速的对鼓风机进行结构上的拆装,不利于后期鼓风机损坏进行更换维修的问题,将鼓风机的输出端与连接机构上的连接筒的一端固定连接,然后再将连接筒另一端通过法兰盘紧固连接在腔体本体的一端部,即可使鼓风机与腔体本体之间便于拆装,当需要拆卸时,逆时针拧动法兰盘上的螺栓即可,反之则进行安装。
18.当然,实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
19.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1为本实用新型正面斜视结构示意图;
21.图2为本实用新型背面斜视结构示意图;
22.图3为本实用新型底面斜视结构示意图。
23.附图中,各标号所代表的部件列表如下:
24.1、腔体本体;2、弧形梯;3、底座;4、转轴;5、支座;6、安装机构;61、安装块;62、连接钢槽;7、轴套;8、第一把手;9、第一圆门;10、固定圈;11、吸风口;12、鼓风机;13、连接机构;131、连接筒;132、法兰盘;14、弧门;15、第二把手;16、第三把手;17、第二圆门。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
26.请参阅图1

3所示,本实用新型为一种新型碳化硅退火炉高温腔体,包括腔体本体
1、安装机构6和连接机构13,腔体本体1商标卖女中部固定连接有安装机构6,且安装机构6包括安装块61和连接钢槽62,安装块61之间的两侧上部固定连接有连接钢槽62;
27.腔体本体1一端上中部紧固连接有连接机构13,且连接机构13包括连接筒131和法兰盘132,法兰盘132固定连接在连接筒131的内端,当在对退火炉高温腔体的燃料载体进行安装时,将装载体放置在安装机构6上,通过其箱配套的紧固件,将其紧固连接在安装机构6上的安装块61和连接钢槽62上即可,使用相反的方式,即可将其从安装机构6上拆卸下来;
28.将鼓风机12的输出端与连接机构13上的连接筒131的一端固定连接,然后再将连接筒131另一端通过法兰盘132紧固连接在腔体本体1的一端部,即可使鼓风机12与腔体本体1之间便于拆装,当需要拆卸时,逆时针拧动法兰盘132上的螺栓即可,反之则进行安装。
29.其中如图1

3所示,腔体本体1底面外部设置有底座3,且底座3前端上部固定连接有弧形梯2,弧形梯2另一端固定连接在连接钢槽62前端表面中部,通过设置的底座3,连接弧形梯2和对腔体本体1进行支撑,通过设置的连接钢槽62,对燃料装载体进行固定,使其拆装起来更加的便捷,节约了空间;
30.腔体本体1底面两端中部固定连接有支座5,且腔体本体1一端表面固定连接有固定圈10,固定圈10表面固定连接有轴套7,通过设置的支座5,对腔体本体1进行支撑,通过设置的固定圈10,从而将轴套7固定,并通过设置的轴套7,使转轴4进行转动;
31.轴套7内转动连接有转轴4,且转轴4外端固定连接有第一圆门9,第一圆门9外表面一侧中部固定连接有第一把手8,通过设置的转轴4,使第一圆门9可进行转动,通过设置的第一把手8,方便对第一圆门9施加力的作用,从而使其进行转动;
32.腔体本体1另一端下中部转动连接有弧门14,且弧门14外表面内端中部固定连接有第二把手15,腔体本体1底面一侧转动连接有第二圆门17,且第二圆门17底面一侧中部固定连接有第三把手16,通过设置的弧门14,方便在需要的时候对腔体本体1内进行观察通过设置的第二把手15,便于将弧门14打开和关闭,通过设置的第三把手16,便于将第二圆门17打开和关闭,对第二把手15和第三把手16施加力的作用,即可将二者打开。
33.其中如图2所示,连接筒131外端表面中部固定连接有鼓风机12,且鼓风机12的输入端固定连接有吸风口11,通过设置的鼓风机12,从而将空气引入到腔体本体1中,进一步使腔体本体1内的燃烧更加的充分,通过吸风口11的设置,将空气吸入到鼓风机12中鼓出。
34.以上仅为本实用新型的优选实施例,并不限制本实用新型,任何对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,对其中部分技术特征进行等同替换,所作的任何修改、等同替换、改进,均属于在本实用新型的保护范围。


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