Ti金属沉积后RTP氮化反应

作者：admin 浏览量：776 来源：本站时间：2021-10-22 18:29:26

信息摘要：

RTP技术也用于热氮化反应过程，此过程中氨气将和钛金属反应并在表面形成氮化钛作为阻挡层及铝金属化的附着层。化学反应为：NH3+Ti—»TIN+3/2H当钛金属沉积完成后，RTA反应室的温度在氮气环境中迅速升高，达到稳定时将晶圆送入反应室，接着关闭氮气并打开氨气，当氮化反应过程结束后就立刻关闭氨气并再次打开氮气。接着机器

RTP技术也用于热氮化反应过程，此过程中氨气将和钛金属反应并在表面形成氮化钛作为阻挡层及铝金属化的附着层。化学反应为：
NH3+Ti—»TIN+3/2H

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当钛金属沉积完成后，RTA反应室的温度在氮气环境中迅速升高，达到稳定时将晶圆送入反应室，接着关闭氮气并打开氨气，当氮化反应过程结束后就立刻关闭氨气并再次打开氮气。接着机器手会将晶圆从反应室中取出并送入冷却室，最后晶圆被放置在一个塑料晶圆盒中，这个过程的温度大约为650℃。下图说明了钛氮化反应的过程。